Dân cư xã chủ yếu là Kinh, trong đó khoảng 99% theo đạo Phật còn một bộ phận nhỏ theo đạo Thiên Chúa.

Diện tích khu dân cư khoảng 0,4 km², tập trung vào các xóm Cổng, xóm Tre, Xóm Gỗ, xóm Thượng, xóm Trung và xóm Ngòi (thôn 1); xóm Cổng, xóm Núi Trong, xóm Chiền, xóm Nội Ngòi, xóm Thanh Tiếu, xóm Dừa và xóm Điếm Đất (thôn 2); xóm Hạ, xóm Khế, xóm Chùa, xóm Đông, xóm Chéo, xóm Tây Thượng, xóm Tây Hạ, xóm Ngõ Trên, xóm Nội, xóm Ngoại, và xóm Bàn (thôn 3); xóm Đông, xóm Tây, xóm Vũng, xóm Chùa, xóm Trại, và xóm Muống (thôn 4). Diện tích đất canh tác xấp xỉ 3,67 km²(2000).

Xã Canh Nậu là một xã đông dân thứ 2 ở huyện Thạch Thất, chỉ sau xã Hữu Bằng. Toàn xã có 52 chi họ, trong đó có 39 chi họ Nguyễn, 5 chi họ Đỗ, 3 chi họ Vũ, ngoài ra có các chi họ Đặng, Lê, Bùi, Trần, Trịnh...